海关总署，信息产业部：
经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件的税收政策通知如下：
一、自2001年1月1日起，对在中国境内设立的投资额超过80亿元或集成电路线宽小于0．25微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件，免征关税和进口环节增值税。
二、符合免税条件的集成电路生产企业名单由国家计委审核确定并通知海关总署，同时抄送财政部。海关对上述企业进口的净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并做好后续监管工作。
三、附件2所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。
四、附件所列商品目录将适时进行调整，由信息产业部会同国家计委、财政部、海关总署、国家税务总局等有关部门提出意见，报国务院批准后实施。
五、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。
特此通知。附件1：部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录序号 商品名称 英文名称 进口原因(技术规格说明)及用途1 小型无尘室 国内无生产2 净化厂房(室)钢结构用配套其它无螺 shear studs
纹紧固件(剪力钉) 国内无生产3 防火漆 fire proofing paint 需fm(factory mutual)认证国内没有生产4 环氧树脂（需通过fm认证） epoxy zinc phosphate 需fm认证国内没有生产
primer, ep66 paint: 5 表面色涂料(不发尘)／上色漆 国内无生产6 净化室建材用调制胶及粘合剂(导电胶， conductive floor tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
密封胶，胶水，洁净强力胶，固定胶，
洁净细胶)7 涂布层尘用硬化剂 hardener for epoxy 国内无生产8 有机玻璃板 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产，规
格为0．8m－1．2m×0．8m－1．2m9 净化厂房(室)玻璃门及配件 国内无生产10 净化室气密门窗及框架(钢制品) 国内无生产11 避震弹簧／避抓弹簧 国内无符合技术标准、型号产品12 铝合金制门 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
标准、型号产品(规格为0．9m－2．4m×2．2m等)13 净化室高架地板(铝合金) aluminum alloy raised 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
floor/raised floor 14 防静电地板(铝合金) aluminum esd floor 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料15 铝合金制结构体／铝合金制吊顶结构体 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标
准、型号产品(规格为2．5m－6m×1．0m－1．2m等)16 铝合金吊顶龙骨及封盖(净化室悬吊系统)及相关配件 国内无符合技术标准、型号产品17 铝合金制高架地板(成品) 国内无符合技术标准、型号产品18 铝合金龙骨 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
标准、型号产品60cm×60cm(误差0．1cm)19 铝制隔板／铝制面板／铝合金制面板(成品) 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
际准、型号产品60cm×120cm，90cm×120cm，90cm
×75cm，75cm×120cm等20 净化室隔间板及门 国内无符合技术标准、型号产品21 铝制隔墙及支撑件 国内无符合技术标准、型号产品22 铝制连接铰链及螺丝 国内无符合技术标准、型号产品23 铝制蜂窝板及附件 国内无符合技术标准、型号产品24 钢制防水板 国内无生产25 净化室隔间板(钢制品)及其辅件 clean room partition/ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
door 术认定产品26 净化室隔间板(铝合金)及其辅件 clean room partition/ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
（厚〉0．35mm） door 术认定产品27 净化室隔离板(铝合金)结合组件 hardware(doors) 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
术认定产品28 净化室铝合金及钢材专用备件及相关零 国内无生产
配件 29 静电消除器 ionizer 清除静电30 有机玻璃制品（成品） 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产31 防水卷材 water proofing men 国内产品目前无验证资料
-brane 32 钢制品吊顶龙骨封盖及相关零配件 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产
品目前无验证资料33 预滚涂铝板 prepainted aluminum 为避免大面积立面产生色差
panels34 净化室隔离板结合组件（金属） 国内无符合技术标准、型号产品35 净化室内自动闭门器 国内无符合技术标准、型号产品36 净化室高架地板(钢制品） 国内无符合技术标准、型号产品37 橡胶导电地扳 国内无符合技术标准、型号产品38 抗静电聚氯乙烯(pvc)／玻璃塑料视窗 antistatic pvc plate, 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
板 door/wall glazing39 导电铜箔胶带 copper tape 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料40 不锈钢安全网 sus safety net 特殊无尘，国内产品目前无验证资料41 高架地板下方气密隔板 under raised floor 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产
divider 品目前无验证资料42 聚氯乙烯(pvc)导电地砖 conductive floor tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料43 净化室(无尘室)专用特制防震机座
(特殊混凝土不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品44 净化室气密门窗及框架(铝制品) 国内无符合技术标准、型号产品45 放电灯管 tear-drop lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
fixture 验证资料46 封闭式聚光管灯 lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
验证资料47 其他类型灯 exit/direction lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
fixture 验证资料48 紫(红)外线灯管(泡) surface mounted light 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
-ing 验证资料49 抗静电强化玻璃 anti-static tempered 国内无生产
glass50 特氟龙管材连接硅胶 国内无符合技术标准、型号产品51 无尘防爆型灯具及配件 国内无符合技术标准、型号产品52 离子发生器 ionizer 国内无符合技术标准、型号产品53 净化室专用特制方针机座(特殊混凝土
不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品54 管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支
撑管垫 国内无符合技术标准、型号产品55 酸式洗涤器用塑料制零部件/有机存储槽 国内无符合技术标准、型号产品56 醋酸纤维制过滤膜(无孔，利用分子间
隙过滤) 国内无符合技术标准、型号产品57 塑料制导电地板贴面 国内无符合技术标准、型号产品58 塑料制电缆护套 国内无符合技术标准、型号产品59 塑料制风口及其支撑件 国内无符合技术标准、型号产品60 塑料制龙骨封条 国内无符合技术标准、型号产品61 特氟龙塑料制风口 国内无符合技术标准、型号产品62 冷轧不锈钢无缝管(电子抛光不锈钢) 无缝，高光洁度，国内无符合技术标准、型号产品
316lba＆ep不锈钢管，平均表面粗糙度ra：ba＜
10u"，ep＜3u"；最大表面粗糙度rmax：ba＜3um，
ep＜0．7um。使用管径1／8"，1／4"，3／8"，1／2"，5／8"，
3／4"，15a，25a，40a，50a，65a，80a，100a，
125a，200a，250a，300a等63 冷轧不锈钢无缝管(铁或非合金钢) 无逢，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标
准、型号产品64 冷轧不锈钢无缝管(其他合金钢) 无缝，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标
准、型号产品65 非冷轧不锈钢无缝管 无缝，国内无符合技术标准、型号产品66 不锈钢焊缝管(成品) 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品67 不锈钢直管、弯管、连接件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品68 钢制风口及其支撑件和附件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品69 铜管 国内无符合技术标准、型号产品70 风机盘管 冷却用，国内无符合技术标准、型号产品71 空调箱系统及其零配件，包括空调系统
盘管、挡水板、防潮器、连接件 国内无符合技术标准、型号产品72 冷却盘管(成品) 国内无符合技术标准、型号产品73 过滤器／高效过滤器／y型过滤器 国内无符合技术标准、型号产品74 过滤、净化器分配装置及其附件(过滤
器用冷盘管) 国内无符合技术标准、型号产品75 酸式洗涤器 国内无符合技术标准、型号产品76 传感器 国内无符合技术标准、型号产品77 橡胶软管／防震软管 expansion joint 管路伸缩保护用，国内无符合技术标准、型号产品78 钢制软管／防震软管 flexible pipe connector 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品79 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱 general process exhaust废气洗涤) fan 国内产品目前无验证资料，国内无符合技术标准、型
号产品80 溶剂废气处理装置 voc abatement device 工艺排气处理，国内无符合技术标准、型号产品
(contain fan and vfd)81 温度传感器 国内无符合技术标准、型号产品82 水及其它蒸汽动力装置的冷拟器 dearator 厂区供热系统用以除去水中氧气，国内无符合技术标
准、型号产品83 其他辅助设备备用零件 steam de-temp de- 厂区供热系统减温用，国内无符合技术标准、型号产
vice 品84 油泵 oil pump 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品85 电动风门，气动控制风门，防火风门， motorized damper pe- 空调管道风系统控制用，防火风门(fm)，国内无符
排气风门 numatic damper, fire 合技术标准、型号产品
damper, air damper86 变风量控制箱及配件 vav box system 办公环境空调用(控制风量0-100％±3％)，国内
无符合技术标准、型号产品87 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件 国内无符合技术标准、型号产品88 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件
(非圆型截面) 国内无符合技术标准、型号产品89 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱
废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品90 真空泵 steam system pumps 蒸汽系统水力输送用，国内无符合技术标准、型号产品91 工艺用真空设备及附件 prcess vacuum pump 生产工艺设备用，国内无符合技术标准、型号产品
& auxillary equipments 92 风机 fan 工艺送排气处理(35000-130000cmh，静压达8""
wg)93 风淋室 air shower 生产环境人员洁净控制用，国内无符合技术标准、型
号产品94 冷却塔 cooling tower 国内无符合技术标准、型号产品95 冷水机组(冰水主机) chiller 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品96 工艺冷却水系统 process cooling water 提供工艺冷却水给无尘设备用，国内无符合技术标
system 准、型号产品97 防火填塞 fire barrier sealing 冰水系统用防堵性材料，需符合ul/fm认证，国内
无符合技术标准、型号产品98 冷媒(制冷剂) refrigerant 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品99 热交换装置 heat exchanger 热能转换，国内无符合技术标准、型号产品100保温材料(橡胶，泡棉，玻璃纤维，铝 insulation 制层) 管路保温用，国内无符合技术标准、型号产品101管阀及配件 valve 管道流体控制用，国内无符合技术标准、型号产品102风机过滤器 fan filter unit 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品103干盘管(冷却盘管) dry coil 生产环境空调用，国内无符合技术标准、型号产品104高效率过滤网(筛)／超高效率过滤网 hepa/ulpa filter (筛)／油过滤网(筛)／充填过滤筛网 0．12um空气过滤器，过滤有效率达到99．9999％，
生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品105管道过滤单元(过滤网) filter 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品106水洗台 国内无符合技术标准、型号产品107卸货平台 docklevelers 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品108滑升门 sectional doors 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品109工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品110加湿器及其配件(配管、喷嘴) steam type humidifier 空调湿度保持，国内无符合技术标准、型号产品111消音箱 sound attenuating cha- 生产环境噪音控制，国内无符合技术标准、型号产品
mber112避震器(管吊架，避震弹簧，电木／橡塑 shock absorber发泡，支撑管垫) 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品113自动释气阀 air vent 管路排气用，国内无符合技术标准、型号产品114风机过滤器监控装置 fan filter units control 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品
and monitor 115控制器 actuator 控制温湿度稳定(控制精度temp 22±0．5℃，rh
43±3％)116变风量控制箱及配件 国内无符合技术标准、型号产品117疏水器 steam trap 管道系统用，国内无符合技术标准、型号产品118洁净室专用接地电线及配件 clean room grounding 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品
system 118洁净室专用接地电线及配件 clean room grounding 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品
system119空气洗涤器 air washer 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品120不锈钢风门，不锈钢内衬特氟龙风门 stainless steel damper, 工艺排气管道用，国内无符合技术标准、型号产品
stainless 121沸石转轮 rotator 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品122燃烧炉 flammable oven 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品123燃烧器 flammable device 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品124无尘室用高速洗手干燥机 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品125冷冻机组／冷冻蒸发器 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品126真空系统(不含微机和外没) house vacuum system 无尘室洁净用，国内无符合技术标准、型号产品127接液盘 国内无符合技术标准、型号产品128有载调压开关(高压) 国内无符合技术标准、型号产品129电缆终端 国内无符合技术标准、型号产品130发电机用零件 发电装置，达到电压时间为15秒，国内无法达到多台发
电机的群控并联方式，国内无符合技术标准、型号产品131空气滤清器 空气滤清装置，国内无符合技术标准、型号产品132离合器 机械耦合装置，国内无符合技术标准、型号产品133逆变器 国内无符合技术标准、型号产品134充电器 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国
内无符合技术标准、型号产品135电瓶组 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国
内无符合技术标准、型号产品136电容器 用于改善电气设备功率因素，与配电柜一起进口，电
压范围300kw-1500kw，国内无符合技术标准、型
号产品137电路的开关，保护或连接用的电气装置／ 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品
断路器 138避雷器 电源断开设备，国内无符合技术标准、型号产品139保护电驿(保护用继电器) 线路保护装置，国内无符合技术标准、型号产品140并联开关盘(电气控制及电力分配的盘，台，柜)／马达控制盘／配电盘 发电开关装置，国内无符合技术标准、型号产品141马达变频控制器 power panel mcc 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品142用于电器控制或电力分配的盘、板、台、柜及其他基座的零件 国内无符合技术标准、型号产品143六氟化硫气体及充填装置 绝缘用气体，国内无符合技术标准、型号产品144感应耦合器 储能装置，国内无符合技术标准、型号产品145同步机 整流装置，国内无符合技术标准、型号产品146电力系统用电缆及辅料 电源用电缆及另料，国内无符合技术标准、型号产品147多功能电表 功能指示装置，国内无符合技术标准、型号产品148滤波器 国内无符合技术标准、型号产品149自动功率因素调整器 功率因素改善装置，国内无符合技术标准、型号产品150自我保护装置(过磁保护电驿，差动保 protection system 国内无符合技术标准、型号产品
护，接地故障保护瞬动，接地故障延时
过流，过电压及低电压保护电驿)151二氧化碳喷淋系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品152有机储存槽 国内无符合技术标准、型号产品153塑料制、聚乙烯(pvc)、偏聚二氟乙 高纯度电子级／耐高温，耐强酸碱
烯，特氟龙制、聚偏二氟乙烯、透明聚
氯乙烯、聚丙烯、连接件管件及其附件；
净化室防电击软管154设备安装用气体、化学品管子(不锈钢 国内元符合技术标准、型号产品
304、316材料)，连接件及配件155阀门，控制阀(及其配件) valve 管道冰水控制用，国内无符合技术标准、型号产品156气体探测头／气体侦测器侦测头 国内无符合技术标准、型号产品157石英管推车 用于搬运工艺用石英管，附防尘、防震装置，国内无
符合技术标准、型号产品158运酸台车 用于搬运工艺用酸性材料，附防尘装置，国内无符合
技术标准、型号产品159桌上型氟离子测量仪 国内无符合技术标准、型号产品160离子交换树脂(颗粒状)／交换树脂 国内无符合技术标准、型号产品161塑料制／特氟龙制储藏罐 储藏高纯度化学品(316低碳不锈钢)国内无符合技
术标准、型号产品162石英管柜 国内无符合技术标准、型号产品163盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器
(容积＞300升) 采用316低碳不锈钢，国内无符合技术标准、型号产
品164盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器 国内无符合技术标准、型号产品(容积50升－300升)165盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器 国内无符合技术标准、型号产品(容积＜50升)166装压缩或液化气的钢铁容器 国内无符合技术标准、型号产品167混合机件及其相关配件 agitator/mixer/fan/ 超细晶片研磨液加水或双氧水后，稀释、搅拌混合装
blower and accessory 置。国内无符合技术标准、型号产品168紫外线灯单元模块及其相关配件 uv unit /accessory 国内无符合技术标准、型号产品169监测仪器及其相关配件 analysis instruments/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 170逆渗透单元组及其相关配件 reverse osmosis(ro) 国内无符合技术标准、型号产品
unit/accessory171水系统动力控制单元及其相关配件 power & control 国内无符合技术标准、型号产品
unit/accessory 172真空脱气模块及其相关配件 membrane degasified 国内无符合技术标准、型号产品
unit & accessory 173超过滤模块及其相关配件 ultrafitration unit/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 174多层过滤塔及其相关配件 multi media fitter/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 175活性碳过滤塔及其相关配件 active carbon filter/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 176文丘利供液装置 ejector 国内无符合技术标准、型号产品177真空脱气模块 membrane degasify 国内无生产／整体系统引进
module 178减速机(不锈钢304材质) reducer 国内无符合技术标准、型号产品179滤心 filter 整体系统引进/国内产品目前无验证资料180石英砂 sillicon sand 国内无符合技术标准、型号产品181活性碳 active carbon 国内无符合技术标准、型号产品182桶，槽容器(玻璃钢制品)(聚二氟乙烯 frp material 盛装高纯度化学品，防污染，国内无生产，整体系统衬里) 引进183密封件(材质丁氰橡胶／聚四氟乙烯／聚二 packing (epdm/ptfe 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
氟乙烯／不锈钢316／不锈钢304) /pvdf/sus316/viton
/sus304 184过滤填充料 gravel 国内无符合技术标准、型号产品185目视玻璃窗 sight glass 采用可绝缘、隔热且具有良好抗静电特殊材质，用于
纯水系统的离子交换树脂塔目视窗，国内无符合技术
标准、型号产品186桶，槽容器(不锈钢制品)(聚二氟乙烯 国内无符合技术标准、型号产品
衬里)187空气泵或真空泵，空气及其他气体压缩 blower 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
机，风机及风扇，防爆风车188真空泵相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品189过滤器(材质不锈钢304／不锈钢316) filter housing 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
(sus304/sus316) 190活性碳过滤塔(碳钢／不锈钢316／不锈钢 ac tower (cs/cs bub- 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
304，内衬橡胶) ber lining/sus316 /sus304191离子交换树酯塔(碳钢／不锈钢316／不锈 ion exchange tower (cs 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
钢304，内衬橡胶)及其相关配件 rubber lining/sus316
/sus304) 192超过滤膜及其相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品193监控系统(不含微机和外设) scada system 国内无生产，整体系统引进194搅拌机 agitator 用于化学药品搅拌及废水处理槽搅拌，氟系废弃物处
理，以加强处理效果，国内无生产(硬件)，整体系
统引进／国内产品目前无验证资料195搅拌机相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品196自动溶解泡药装置 氧化铝加水成氢氧化铝后沉淀用，国内无符合技术标
准、型号产品197污泥饼机(压滤机) filter press 用于氟系废弃物处理，氟化钙淤泥脱水使其污泥干燥度
达处理水平，国内无生产，国内产品目前无验证资料198紫外线杀菌灯单元模块 toc uv unit 国内无生产，整体系统引进199安定器 ballast 紫外线杀菌灯单元模块配套元件(硬件)，国内无符
合技术标准、型号产品200Ｏ型环 o ring 密封圈，材料为橡胶、偏氯二氟乙烯聚二氟乙烯、丁
氰橡胶等，国内无符合技术标准、型号产品201臭氧产生器 o3 generator 国内无生产，整体系统引进202管路集散器 distributor 国内无符合技术标准、型号产品203减震模块 virbaration 国内无生产，整体系统引进204桶槽呼吸单元模块 breather unit 国内无生产，整体系统引进205液体，气体的测量或检验装置及其零配 flow meter (sus304/ 国内无生产，整体系统引进
件 sus316, ultrasonic) 206气体侦测模块 gas detector 国内无生产，整体系统引进207呼吸器快速接头 ba quick coupling 国内无符合技术标准、型号产品208空气室 air chamber 国内无符合技术标准、型号产品209离子交换树脂再生塔不锈钢316／304，碳 ion exchange tower 国内无符合技术标准、型号产品
钢橡胶内衬 (cs rubber lining/
sus316/sus304) 210人机界面(用于监控系统现场设备)软件 man machine-interface 监控系统现场设备的连接装置，是一种组态软件，国
内无符合技术标准、型号产品
211压缩空气系统干燥机 cda dryer 国内无符合技术标准、型号产品212真空传感器 vacuum detector 国内无符合技术标准、型号产品213超洁净化学品供应单元 supply unit (n2 pres- 国内无符合技术标准、型号产品 sure & pumping type)214超洁净化学品浓度稀释单元 dilution unit 国内无符合技术标准、型号产品215超洁净化学品注入单元 charge unit 国内无符合技术标准、型号产品216化学废品收集单元 waste collection unit 国内无符合技术标准、型号产品217气体分配箱及阀件 valve manifold box, 国内无符合技术标准、型号产品 valve, regulator,fil- ter and pressure transducer 218气体监控及侦测防护系统(含监视器、 gas monitoring system 国内无符合技术标准、型号产品 光纤、光缆，不含微机和外设)219特种气体纯化及监测装置(含监视器、 specialty gas purifier 国内无符合技术标准、型号产品 光纤、光缆) and monitor220监控系统及可编程控制器(含监视器、 monitoring system 国内无生产光纤、光缆，不含微机和外设)221纯水枪 diw gun 国内无符合技术标准、型号产品222氮气枪 n2 gun 国内无符合技术标准、型号产品223化学品防漏膜片特氟龙、316低碳不锈钢 国内无符合技术标准、型号产品224加热带(金属材料、特种塑料) heater line/heater 国内没有生产 trace 225加热外套(金属材料) heat jacket 用于气瓶加热提高蒸发量，不锈钢材料，国内没有生产226空气呼吸器系统，含有带镜架防毒面具 breath air system 国内没有生产 (硅胶材料)，压缩空气气瓶(不锈钢或 碳纤材料)，及上述设备连接管及配件 (不含微机和外设)227累计器 accumulator 国内无符合技术标准、型号产品228冷凝器 cooler 国内没有生产229铝合金电缆槽 aluminum cable tray 外表有烤漆，防尘、防静电、防化学品腐蚀、防产生 微粒，国内无符合技术标准、型号产品230末端阀箱 end box 国内产品目前无验证资料231火焰警报器，压力表及废气排放管(不 gas cabinet 国内没有生产 锈钢内涂树脂)，消防水管(不锈钢)， 仪表控制用气体连接管(不锈钢或特氟 龙管)等232气体分配箱 内含不锈钢外壳和支架， 国内没有生产 气体输送分配盘及废气排放管(不锈钢 内涂树脂)，仪表控制用气体连接管(不 锈钢或特氟龙管)等233钢瓶紧急泄露处理车 emergency response 国内没有生产 containment vessels for leaking cylinders 234氧化，金属及铜工艺研磨液供应系统 oxide, cu process & 国内无符合技术标淮、型号产品 (不含微机和外设) metal dilution & suply unit235化学门感应器 door sensor 国内无符合技术标准、型号产品236紫外线感应器 uv sensor 国内无符合技术标准、型号产品237泄漏测量器 leak detector 国内无符合技术标准、型号产品238随身携带呼吸器件(scba空压机) 一种空气系统，国内无符合技术标准、型号产品239超级过滤膜及外壳(高洁净高强度工程 国内无符合技术标准、型号产品 塑料、超洁净不锈钢)240超级过滤器及外壳(高洁净度、高强度 国内无符合技术标准、型号产品 工程塑料)241不锈钢管及连接件、抗压力指数大于等 国内无符合技术标准、型号产品 于4公斤的钢管、膨胀节242化学品过滤系统用零配件 国内无符合技术标准、型号产品 243机械轴封(配件) 国内无符合技术标准、型号产品244随身携带呼吸器件(scba空压机)备用 back-up gas cylinder 气瓶 of scba 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气245化学品泄漏处理对象、器材及防护衣 chemical leakage spe- 处理化学品泄漏时防护及处理器材 cial material 246可燃／毒性物防爆箱 chemical temporary 储存腐蚀性及易燃液体 storage 247自动灭火喷淋系统（不含微机和外设） sprinkler system 净化室消防灭火用，需fm认证248消防(火灾)防护防害器材及防护衣物 fire fighting protec- 消防灭火的防护衣服手套等 tion material 249全套自供式呼吸器(含碳纤气瓶) self container breat- 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 ing aparatus(scba) 250磁簧感应器、红外线对照式侦测器、主 access system 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 机及控制器、路由器等 员出入251磁力锁 electric lock 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 员出入252寻址式火警控制盘、相应模块 addressable fire 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 alarm control panel & module 253无尘室用二氧化碳灭火器 co2 fire extinguisher 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品254二氧化碳系统(含钢瓶，喷头，烟感器， co2 system 控制盘，不含微机和外设) 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品255防爆型摄像头、高分辨率摄像头 cctv system 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 处理发生相关事件256防火／防烟风门 fire stop, fire/smoke 消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品 damper 257感应读卡机 proximity card reader 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 员出入258高压气瓶泄漏处理设备储备器材 coupressed cylinder 国内无符合技术标准、型号产品 leakage treat equipment 259画面处理单元 drawing handle unit 监视无尘室等运行状态，作画面处理(如分隔和警 报)，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件260环境安全管理监视系统[含影像接收， monitoring system 国内无符合技术标准、型号产品 处理，记录系统、监控器、光纤、光缆， (including video （不含微机和外设）] receiving ,processing, recording system)261回路控制单元 loop control unit 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 处理发生相关事件262回路控制器 loops controller 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品263火警报警，(广播)系统(感应，灭火逃 fire alarm, public 火灾侦测报警用，需fm认证 生警报单元，控制单元，不含微机和外 address system (de- 设) tection, alarm unit)264火警矩阵主机(连动门禁、电梯、排烟 fire system materix 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 及广播系统) link265极早期火警警报系统(不含微机和外设) very early smoke de- 洁净车间火灾侦测报警用，需fm认证 tection system266紧急广播主控器、相应模块及附件 emergency p.a. main 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 controller & module267紧急洗眼及冲淋器具 国内无符合技术标准、型号产品268警报 输入／输出(i／o)界面(用于门禁 alarm i/o interface 一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及 系统) 控制无尘室等人员出入269空气采样管(特种塑钢) air sampling piping abs(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯三元共聚物)塑钢本 身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中270空气采样系统主机、相应模块及附件 air sampling smoke 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 detector, main machine 271门禁管理系统(不含微机和外设) access control alarm 有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万 system (accessory) 个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品 (control unit) 272泡沫灭火系统(含泡沫桶，控制盘，不 foam extinguish sys- 含微机和外设) tem 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品273网络接口组件、图控压缩软件(用于火 network interface 火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、 灾探测报警用／火警广播) unit, graphic com- 型号产品 press software 274网络界面设备及附件 network interface unit 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中275视觉信号装置零备件 system accessories 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品276消防组配件(洒水头，泡沫头，压扣开 fir protection system 消防系统，国内无符合技术标准、型号产品 关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…) accessories (sprinkler head, foam head, emergency push botton,speaker…)277信号收集单元 signal collect unit 一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品278烟感及温感器 smoke detector 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品279安全保护器具 safety protection 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需 equipment fm认证280厂务监控系统(不含微机和外设) facility management & 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产 control system 281编程工具 programming tools 用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所 有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内 无符合技术标准、型号产品282监控器与监控盘体(含监视器) controller and control 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 panel 产，国内无符合技术标准、型号产品283输入／输出 监控工作站(不含计算机) i/o control workstation中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量 及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室 稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品284网络设备(不含计算机) neworking device 工业级etchmet kingbus网络确保净化室监控网络的 稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳 定生产，国内无符合技术标准、型号产品285数据库应用工具 database application 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 tools 产，国内无符合技术标准、型号产品286专用测试系统（不含微机和外设） special instruments 国内无符合技术标准、型号产品 for clean room 287静电监测系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品附件2：部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录序号 设备类型 英文名称（企业参考） 设备零、配件 零、配件税则号列1 化学机械研 cmp 研磨（二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、 84799090／84669300 磨设备 钨研磨）设备配件（化学机械研磨机） 2 defect inspection/ back order 缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)/自动缺陷 for rt 8800 automatic ret- 检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接 90299000／90319000 icle inspection system/mask 口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 particle & pellicle defection system3 particle counter 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 90299000／903090004 profiler 剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪) 903090005 表面轮廓仪配件 903090006 wafer sort 晶圆分类机设备配件 847990907 扩散设备 rta 快速热退火炉－热退火设备配件(快速热处 理器) 851490908 sheet resistance 电阻量测仪配件/层电阻测定仪配件/比电阻测 90309000／90319000 定仪配件 9 surface charge analyzer 表面电荷分析仪配件 9027900010 vf lpcvd 低压化学气相沉积炉管配件 84859000／84799090／8479909011 vf poly oxide/anneal 常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、 膜生长垂直炉管)配件 8514909012 parts for vertical furnace 氧化机配件 8419909013 ipi 高温燃烧废气处理设备配件 8419909014 vacuum pump 真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 8414909015 tube cleaner 炉管清洗设备配件/炉管清洗机配件/炉芯管清 84219990/85149090 洗机配件16 dry scruber 干式清洗设备配件(清洗机) 8419909017 parts cleaner hf 零件清洗机配件 84249090／84219990／8543909018 静态老化炉配件 8417909019 数字器件标准老化炉配件 8514900020 单晶硅外延炉配件 841790902l 老化炉配件 8514900022 扩散炉配件 8514909023 聚酰胺烘陪炉配件 8514909024 氮气处理配件 8514909025 椭圆仪配件 9031900026 扩散用工夹具清洗机/化学气相沉积用工夹具 85149090/84799090／84669300 清洗/工夹具有机清洗装置配件27 温度控制器配件 9032900028 温度分布测定机配件 9031900029 化学气相沉 除害装置配件 84219990 积/薄膜设备 30 四乙氧基硅烷(teos）供给系统配件 8479909031 磷浓度测定仪配件 9026900032 尘埃检查仪配件 9030900033 粒子监视系统配件 9030900034 供气系统／气体供给系统配件 8479909035 气体精制机(氮气)配件 8421999036 涡轮分子泵／低温泵配件 8413910037 特性检查配件 9031900038 气体泄漏监视系统配件 9026900039 气体集中供给装置配件 8479909040 cif3废气吸附装置配件 8421999041 聚酰亚胺烘焙配件 8479909042薄膜设备 ftir 傅力叶红外线检测仪配件(量测仪) 9031900043 pvd 物理气相沉积设备(仪)配件 8421999044 cvd 化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积 设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化 84219990／84799090 学气相沉积配件45 smif arm 标准机器界面设备配件(晶片上料机) 8485900046 smif 小型无尘室配件 8421999047 parts cleaner 工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片 盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)（清 84249090／84219990 洗机)48 擦片机配件/化学机械抛光擦片机配件/浅沟道 84799090/84669100 隔离化学机械研磨擦片机/双面擦片机配件 49 waste gas treatment (in- 工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理 cluding local scrubbver, 设备) 85149090 burn tube, cool trap) 50 stress measurement system 应力测量仪配件／应力测定仪配件 90309000／90269000 parts 51 sputter 溅射设备配件 8479909052 vapor hf 气相清洁设备配件 8479909053 xrf x射线测量仪配件(x射线晶片分析仪) 9030900054 cu plating 铜电镀机配件 8479909055 wafer transfer system parts 晶盒运输设备配件 84859000／8479909056 wafer scrubber system parts 晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清 84219990 洗机)(清洗过滤机)配件。57 liquid delivery system parts 自动供液系统(输送机)配件 8485900058 sheet resistance measure- 阻抗量测仪器及配件 90309000 ment system and parts 59 esd tlp system 静电测试系统配件 9030900060金属化 溅射台配件 8479909061 段差测定仪配件 9031900062 表面反射率计配件 9031900063 真空烘箱／烘箱／ht烘箱配件 85149090／8514900064 固化烘箱／塑封固化烘箱配件 8477900065 喷砂机配件 8424909066 干燥机／版盒干燥机配件 8514909067 茧光x线分析装置配件 9031900068干法蚀刻 corner rounding 倒角设备配件 8466930069 metal /w etchback etch 金属／钨回蚀设备配件 8466930070 microscope /wafer loader 光学显微镜／硅片承载器配件 9011900071 etch-spacer 衬垫蚀刻设备配件 8466930072 opticstation 光学检测设备配件 9031900073 etch 蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干 式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻 蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻 84669300／84669300 蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件74 plasma clean 等离子体清洁设备配件 8479909075 resist strip 去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 84219990/／84799090／84669300／ 84669300 76 sn de-polymer 高分子聚合物去除设备配件 8479909077 uv curing -met 紫外线固化(金属)设备配件 8479909078 回刻机配件 8466930079 气体泄漏监视装置配件 9026900080 工夹具水洗装置配件 8466930081 工夹具干燥装置/化学气相沉积用工夹具干燥 85149090／84799090 配件 82 研磨设备 backside grinder/polisher 晶片背研磨机(研磨机)配件 84799090／8466930083 bacside thickness measure- 背面侧厚仪配件 90269000 ment 84 detape 去膜机配件／卸膜机配件 84799090／8466930085 tape 贴膜机配件 84799090／8466930086 离子注入设备 dose measurement 剂量测量设备配件 9028901087 current imp 离子注入设备配件(高速流、高能量) 8543901088 离子注入设备配件(中速流) 8543901089 喷砂机配件 8543909090 光罩生产设备 aims metrology system 空间影像模拟系统配件 9008909091 auto pellicle mounting sys- 自动防尘保护膜系统配件 84799090 tem 92 cd metrology system 微距量测系统配件 9017900093 coater & hot plate 镀膜机配件 8479909094 fib reticle repair system 聚焦离子束光罩修补系统配件（光罩修补系统） 9027900095 film thickness measurement 薄膜厚度量测机（测量仪器）/膜厚测定仪/厚 90309000／90319000 tool 度仪配件 96 laser beam writing 扫描式（步进式、电子束、镭射束）曝光机 90109090 配件 97 镭射束（电子束）曝光机配件（镭射刻读机） 84799090 配件 98 laser reticle repair system 镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统) 9027900099 光罩修补系统配件 90279000100 m & m visual inspection 目检机（包括焊线目检机、自动目检机、自 90319000/84799090 tool 动盘装目检机、自动管装目检机）配件 101 manual pellicle mounting 手动防尘保护膜系统配件 84799090 tool 102 optical chemical processor 光学化学制程机配件(光掩模制程机) 90109090103 overlay metrology system 标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪) 90179000104 phase angle measurement 相位量测系统配件 90179000 tool105 starlight inspection system 微尘检验系统配件(脏污检验系统) 90309000106 reticle fine-cleaning system/ 光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件(水 84799090 wet bench 洗台)／去光阻清洗系统配件 107 扫描电子测量仪配件 90309000108产品工程设 mosaid efa tester 测试机配件 90309000 备109 un eraser 紫外线光源擦除机配件 85439090110 cycling machine 重复读写测试机配件 90309000111 precision semiconductor pa- 精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件 90279000 rameter analyzer 112光刻设备 ammonia detector 氨气检测器配件(多种气体分析仪) 90279000113 hot plate 热板烘干机配件 84799090114 in-line duv scanner 光刻机配件 90109090115 光刻机用控制器配件 84859000116 in-line duv track 在线式涂布显影机配件 84799090117 mask optical microscope 显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微 镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜／ 90129000／90119000 非接触测量显微镜)配件118 光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／x 射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射 90119000 显微镜配件119 立体显微镜配件 90119000120 overlay 套刻精度仪配件（量测仪）／套刻精度检测仪配件90309000／90319000121 coater 涂布机配件(涂胶机)／涂敷机配件 84799090122 developer/pr reworker 显影机配件 84799090123 reworker dryer before cure 光刻胶预处理设备配件 84799090124 紫外线光刻胶硬化机配件 90109090125 reticle charger/macro check 光罩检测仪配件(晶片盒开封机) 84799090 station126 starlight mask inspection 光罩检测检查系统配件 90319000 system 127 版盒清洗机配件 90330000．90128 硅片周边曝光装置配件 90330000．90129 紫外固胶机配件 90330000．90130 紫外线处理装置配件 90330000．90131 罩清洗机配件 90330000．90132 显影液供给系统配件 90330000．90133 溶剂供给系统配件 90330000．90134 氦气气瓶柜配件 84799090135 掩膜板检测仪配件 90331000136 扫描电镜配件 90119000137 聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 90330000．90138 测试工作台配件 90319000139 硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片 84799090 机配件 140 外观检查仪配件 90319000141 背面外观仪配件 90319000142 质量保证设 sims 二次离子质谱仪配件(质谱仪)／电感偶合质 90279000 备 谱仪配件 143 air sampler 空气取样器配件(极早期空气采样系统) 90329000144 gc/ms (gas chromatography 气相色谱质谱联用分析仪配件 90279000145 gfaas 石墨炉原子吸收光谱仪配件（原子 吸收分光光谱仪） 90279000146 ion chromatography 离子色谱仪配件 90279000147 kf titrator 水分滴定仪配件(水分仪) 90319000148 microwave concentrator 微波浓缩装置配件 90309000149 auto titrator 自动电位滴定仪配件(自动滴定仪) 90319000150 viscometer 粘度计配件(粘度测量仪) 9031900151 hot plate 搅拌器配件 84749000152 加热器配件 85169090153可靠性保证 auto-decapsulation machine 自动开封机配件(晶片盒开封机) 84799090 设备154 fib 聚焦离子束设备配件 85439030155 io milling 离子减薄机配件 84799090156 micro cleaving 裂片机配件 84799090157 microsection/polisher 抛光机配件(化学机械抛光设备) 84859000／84669100158 precision saw 精密切割仪／激光切割机配件(低速切割机) 84859000／84669300159 reflow 回流焊设备配件 84689000160 sample preparation-co2 system 二氧化碳气泡机配件 84799090161 sample preparation-dicing saw 划片机配件 84799090／84779000／84649100162 sample preparation-die bonder 上片机配件(粒子上片机) 84799090163 sample preparation -wafer 粘片机配件 84799090 mounter164 sample preparation-wire bonder 焊线机配件 85159000165 x-ray x射线分析仪配件(x射线晶片分析仪) 90309000166 failure analysis instrument 故障分析仪配件 90309000167 failure analysis sample 失效分析样品制备系统配件 90319000 preparation168 el grade clean plastic bottle 超洁净塑料瓶 39269010 (pe/pp/ptfe)169 sterilized sampling tube 无菌采样管 39172900170 volumetric flask (pe/pp/ 超洁净塑料凉瓶 39269010 pfa/pmp)171 micropipette 微量移液管 39269010172 diw sample bag 无菌取样袋 39239000173 plastic syringe 无菌塑料针管 39173900174 分析装置配件 90319000175 去离子水系统配件 84219990176 中央控制系统配件 84733090．90177 蒸汽回流机配件 85439090178 红外线回流系统配件 90319000179 塑模开封机配件 84669100180 化学腐蚀装置配件 8466930018l 超声波清洗系统配件 84669300182 超声波图机配件 90319000183 热载流子分析仪配件 90319000184 曲线跟踪仪配件 90319000185 pod/cassette inspection 晶盒检测仪配件 90309000186 txrf x射线荧光光谱仪配件 90279000187 w.s. wafer scrubber-non metal 晶片去离子水喷射刷洗设备配件 84249090188 wafer marker 激光晶圆刻片机配件(激光刻号机) 84799090189 wafer rs& thk/flat 晶圆片厚度／平整度测量仪配件(表面凸凹检 90309000 测仪）190 alu 石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机) 84799090191研发设备 dynamic signal analyzer 动态信号分析仪配件(噪声计) 90309000192 超声波扫描仪配件 90319000193 温湿度箱／压力锅配件 85439090194 高加速应力实验箱配件 90309000195 逻辑分析仪配件 90279000196 晶体管曲线仪配件 85439090197 静电模拟测试机配件 90309000198 lcr meter 电感电阻电容测试仪配件 90309000199 pulse generator 专用脉冲发生器配件 85439029200 semiconductor parameter 半导体参数分析设备配件(参数分析仪) 90279000／85439090 analyzermanual 201 semiconductor parametric 半导体参数测试设备(仪)配件 90309000 tester 202 switch matrix 信号自动转接器配件 85191090203 rf noise figure instrument 高频噪声系数分析仪配件 90319000204 iccap rf measurement system 高频测试系统配件 90319000205 curve tracer 信号轨迹追踪器配件 90319000206 esd tlp system 静电放电测试系统配件 90309000207 图像处理器配件 84719000208 绘图机配件 90330000．90209 热波测试仪配件 90279090210 高低温分析仪配件 90319000211 微探针台配件 90319000212 电子束探针／热探针仪／自动多探针配件 90319000213 验证测试系统配件 90319000214测试设备 laser repair 激光修复仪配件 90319000215 logic tester 元件电参数测试设备配件 90319000216 prober card check 探针卡检测仪配件(探针测试仪) 90309000217 prober 探针台(手动、半自动、自动、微探针台) 84799090／90319000 配件218 探针卡219 wafer bake oven fittings 烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、 85149090／84199090 银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉）配件 220 logic tester fittings 逻辑测试机配件 90319000221 memory tester fittings 记忆体测试机配件 90319000222 wafer loader 晶圆装载机配件 84799090223 tester equipment pc tool 测试设备电脑工具配件 84719000 fittings224 probe card making equipment 探针卡制作设备配件 84799090 fittings 225 ultra sonic container fittings 超音波震荡器配件 90319000226 tester electronic meter 测试仪计量设备配件 90309000 fittings 227 mother-plate fitting for tester 测试仪专用工夹具及配件 90319000228 microscope guard against 显微镜防震工作台配件 90119000 earthquakes fittings 229 thermometer & humidometer 温湿度测试仪配件 90259000 fittings 230 与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 84859000231 logic analyzer fitting 逻辑分析仪配件 90279000232 precise oscillator fittings 精密示波器配件(示波器) 90309000233 wafer burn-in tester fittings 炙烧测试机配件 84799090234 dynamic wafer burn-in bake 动态老化晶圆烤箱配件 84199090 oven fittings 235 mixed signal tester fittings 混合型测试机配件 90319000236 数字测试系统配件 90319000237 混合信号测试系统配件 90319000238 密封机配件 84779000239 外观检查仪配件 90319000240 切片机配件 84669100241 粉尘收集器配件 84213990．90242 尘埃测定器配件 90319000243 热电子分析仪配件 90319000244湿法刻蚀设 w.s. cleaner 湿法清洗设备配件 84799090 备245 晶片再生处理机配件 84569990．90246 wafer transfer/ transfer, 晶片传送器配件(晶片传送机) 84859000 horizontal, wafer, automatic 247 超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片盒清洗 干燥机／剥膜清洗机伯动腐蚀清洗机／片架清 84669300 洗机配件248 氧化膜腐蚀配件 84669300249 氮化硅腐蚀配件 84669300250 磷玻璃层去除设备配件 84669300251 化学机械抛光清洗机配件 84669100252 浆料供给装置配件 84669300253 光刻胶剥离配件 84669300254 减薄机配件 84669100255 化学机械研磨用纯水加压装置配件 84669100256 半球形玻璃(hsg)前处理装置配件 84669300257 寿命测试仪配件 90319000258 片架检查仪配件 90319000259 淀积物去除装置配件 84669100260 栅氧化前处理配件 84669300261 荧光x射线分析装置配件 90319000262 化学机械研磨用残膜测定仪配件 90319000263 前处理装置配件 84669300264搬送 工程间搬送设备配件 84859000265 工程间有轨／无轨搬送设备配件 84859000266 掩模版库配件 90330000．90267 机器人配件 84799090268 精选机配件 90319000269封装 贴片机配件 84779000270后工序封装 等离子清洗机配件 84799090 设备27l 晶片粘贴机配件 84799090272 金线拉力检测机配件 90309000273 自动生产线线体配件 84799090274 二氧化碳充气机配件 84799090275 印字机配件 84439000276 切筋成型机配件 84669400277 x光机配件 90229090278 植球机配件 84779000279 清洗机配件 84799090280 推球测试机配件 90309000281 内脚焊接配件 84689000282 封胶机配件 84779000283 抓料机配件 84799090284 电镀机配件 84799090285后工序测试 自动分检机配件 84799090 设备286 卷带包装机配件 84799090287 老化板测试机配件 90309000288 自动上下料分检机配件 84799090289 紫外线擦除机配件 85439090290 电源及其配件 85049020291实验分析校 温湿度箱／压力锅配件 85439090 准设备292 高加速应力实验箱配件 90309000293 回流焊机配件 84799090294 温度循环测试机配件 90309000295 纯水加压机配件 84779000296 装片机配件 84779000297 键合机配件 84779000298 键合检查仪配件 90319000299 塑封压机／塑封机配件 84779000300 塑封模配件 84779000301 切筋打弯机配件 84779000302 存储器测试系统配件 90319000303 分选机配件 84779000304 管脚检查系统配件 84779000305 插拔机配件 84799090306 老化测试板检查仪配件 90319000307 托盘处理机配件 84779000308生产管理自 主系统服务器配件 84733090．90 动控制系统 309 生产管理系统配件 84733090．90310 管理系统服务器配件 84733090．90311 自动装载系统配件 84733090．90312 生产控制系统1vw配件 84733090．90313 后道生产控制系统服务器配件 84733090．90314 抄送邮件服务器配件 84733090．90315 网络设备(fa，0a)配件 84733090．90316 网络测试系统配件 84733090．90317芯片出货检 wafer vacuum packing machine 各类芯片专用真空包装机配件/真空包装机配件 84229090／84779000／84799090 测设备 318 om digital printer 显微镜数码打印机配件 84859000319 om 3ccd rgb camera (带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件 90069199320 bar code printer 工业用条形码打印机配件 84859000321 vlst standard wafer 各类校准用标准晶片配件 90319000322 trh meter, anemometer, 各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 90269000 trh recorder323 lockreel 塑料带轮配件 39269090324 tip, wand, vaccum 硅片(晶片)吸附头 39269010325 vaccum pick-up pencil with 真空吸笔及吸头 40161010 head326 cabiliary 瓷嘴配件 69149000327 diamond cut-off wheel 切割轮(金刚砂)配件 68042100328 diamond blade 切割刀配件 82089000329 reject pin 顶起针配件 73199000330 magazine/frme 弹匣／芯片承载环配件 73261910331 tweezer, wafe 晶片镊 82032000／73269010332 print cartridge 喷塑匣配件 84719000333 hpc sampler red 25/pk 去离子水细菌测量抽样仪配件 90318090334电学计量校 digital multimeter calibrator 数字多用表校准标准器配件 90319000 准检定设备 parts335 precision oscilloscope cali- 示波器精密校准器配件 90309000 brator parts336 ac/dc voltage and current 交直流电压、电流标准装置配件 90309000 calibrator parts337 resistance standard calibrator 电组标准检定装置配件 85389000 parts 338 multiple channel power calibr- 多功能标准源装置配件 85049090 ator parts339 sgnal generator calibrator parts 信号发生器检定装置配件 90319000340力学计量校 pressure gauge calibrator parts 压力表检定装置配件 90269000 准检定设备341 liquid/gas flow meter cali- 流量计标准装置配件 90269000 brator parts342 velocity meter calibrator parts 转速表检定装置配件 90269000343热工计量校 thermocouple calibrator parts 热电偶检定标准装置配件 90329000 准检定设备344 temperature calibrator parts 温度校准器配件 90329000345 heater furnace calibrator 温度炉标准配件 90329000 parts346 control equipment & spare parts 控制装置配件 84859000347 ltra-violet equipment & 紫外线杀菌灯配件 85399000 spare parts348纯水，排水 与药品供给 化学品供应系统配件 回收系统349 化学品混合机配件 84799090350电气系统 六氟化硫组合电器柜配件 85489000351 10kv真空断路器配件 85489000352 电力数据采集监控系统配件 85489000353 高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断 85389000 电源用高电压开关柜／高电压开关柜配件 354 高电压主变压器/站用干式变压器/不间断电源 85030090/85049019 用干式变压器/不间断电源用旁路变压器配件355 电力电容成套装置配件 85389000356 综合保护装置配件 85389000357 高电压电压监视系统配件 85389000358 ats电源转换装置配件 85049019359 发电机并车装置配件 85030090360 中央监控站设备配件 85389000361 冷冻机组配件 84189999362 高效风车过滤单元配件 84219990363 高效率过滤器配件 84219990364 静电消除装置配件 90329000365 温湿度监控系统配件 85319090366 真空扫除机配件 84219990367气体系统 气体品质监控系统配件 85319090368 气瓶柜输送系统配件 84313900369 气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件 84219990370 气体溅楼漏侦测系统配件 85319090371化学品过滤 及供应系统 控制装置配件 84733090372 管道阀及其配件 84819010373 过滤器滤芯及其配件 84219990374 化学品储存桶槽及其配件 39269010375 化学品成分及浓度测量装置及其配件 90289090376 重量测量装置及其配件 84239000
经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件的税收政策通知如下：
一、自2001年1月1日起，对在中国境内设立的投资额超过80亿元或集成电路线宽小于0．25微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件，免征关税和进口环节增值税。
二、符合免税条件的集成电路生产企业名单由国家计委审核确定并通知海关总署，同时抄送财政部。海关对上述企业进口的净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并做好后续监管工作。
三、附件2所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。
四、附件所列商品目录将适时进行调整，由信息产业部会同国家计委、财政部、海关总署、国家税务总局等有关部门提出意见，报国务院批准后实施。
五、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。
特此通知。附件1：部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录序号 商品名称 英文名称 进口原因(技术规格说明)及用途1 小型无尘室 国内无生产2 净化厂房(室)钢结构用配套其它无螺 shear studs
纹紧固件(剪力钉) 国内无生产3 防火漆 fire proofing paint 需fm(factory mutual)认证国内没有生产4 环氧树脂（需通过fm认证） epoxy zinc phosphate 需fm认证国内没有生产
primer, ep66 paint: 5 表面色涂料(不发尘)／上色漆 国内无生产6 净化室建材用调制胶及粘合剂(导电胶， conductive floor tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
密封胶，胶水，洁净强力胶，固定胶，
洁净细胶)7 涂布层尘用硬化剂 hardener for epoxy 国内无生产8 有机玻璃板 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产，规
格为0．8m－1．2m×0．8m－1．2m9 净化厂房(室)玻璃门及配件 国内无生产10 净化室气密门窗及框架(钢制品) 国内无生产11 避震弹簧／避抓弹簧 国内无符合技术标准、型号产品12 铝合金制门 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
标准、型号产品(规格为0．9m－2．4m×2．2m等)13 净化室高架地板(铝合金) aluminum alloy raised 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
floor/raised floor 14 防静电地板(铝合金) aluminum esd floor 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料15 铝合金制结构体／铝合金制吊顶结构体 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标
准、型号产品(规格为2．5m－6m×1．0m－1．2m等)16 铝合金吊顶龙骨及封盖(净化室悬吊系统)及相关配件 国内无符合技术标准、型号产品17 铝合金制高架地板(成品) 国内无符合技术标准、型号产品18 铝合金龙骨 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
标准、型号产品60cm×60cm(误差0．1cm)19 铝制隔板／铝制面板／铝合金制面板(成品) 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术
际准、型号产品60cm×120cm，90cm×120cm，90cm
×75cm，75cm×120cm等20 净化室隔间板及门 国内无符合技术标准、型号产品21 铝制隔墙及支撑件 国内无符合技术标准、型号产品22 铝制连接铰链及螺丝 国内无符合技术标准、型号产品23 铝制蜂窝板及附件 国内无符合技术标准、型号产品24 钢制防水板 国内无生产25 净化室隔间板(钢制品)及其辅件 clean room partition/ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
door 术认定产品26 净化室隔间板(铝合金)及其辅件 clean room partition/ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
（厚〉0．35mm） door 术认定产品27 净化室隔离板(铝合金)结合组件 hardware(doors) 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技
术认定产品28 净化室铝合金及钢材专用备件及相关零 国内无生产
配件 29 静电消除器 ionizer 清除静电30 有机玻璃制品（成品） 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产31 防水卷材 water proofing men 国内产品目前无验证资料
-brane 32 钢制品吊顶龙骨封盖及相关零配件 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产
品目前无验证资料33 预滚涂铝板 prepainted aluminum 为避免大面积立面产生色差
panels34 净化室隔离板结合组件（金属） 国内无符合技术标准、型号产品35 净化室内自动闭门器 国内无符合技术标准、型号产品36 净化室高架地板(钢制品） 国内无符合技术标准、型号产品37 橡胶导电地扳 国内无符合技术标准、型号产品38 抗静电聚氯乙烯(pvc)／玻璃塑料视窗 antistatic pvc plate, 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
板 door/wall glazing39 导电铜箔胶带 copper tape 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料40 不锈钢安全网 sus safety net 特殊无尘，国内产品目前无验证资料41 高架地板下方气密隔板 under raised floor 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产
divider 品目前无验证资料42 聚氯乙烯(pvc)导电地砖 conductive floor tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料43 净化室(无尘室)专用特制防震机座
(特殊混凝土不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品44 净化室气密门窗及框架(铝制品) 国内无符合技术标准、型号产品45 放电灯管 tear-drop lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
fixture 验证资料46 封闭式聚光管灯 lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
验证资料47 其他类型灯 exit/direction lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
fixture 验证资料48 紫(红)外线灯管(泡) surface mounted light 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无
-ing 验证资料49 抗静电强化玻璃 anti-static tempered 国内无生产
glass50 特氟龙管材连接硅胶 国内无符合技术标准、型号产品51 无尘防爆型灯具及配件 国内无符合技术标准、型号产品52 离子发生器 ionizer 国内无符合技术标准、型号产品53 净化室专用特制方针机座(特殊混凝土
不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品54 管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支
撑管垫 国内无符合技术标准、型号产品55 酸式洗涤器用塑料制零部件/有机存储槽 国内无符合技术标准、型号产品56 醋酸纤维制过滤膜(无孔，利用分子间
隙过滤) 国内无符合技术标准、型号产品57 塑料制导电地板贴面 国内无符合技术标准、型号产品58 塑料制电缆护套 国内无符合技术标准、型号产品59 塑料制风口及其支撑件 国内无符合技术标准、型号产品60 塑料制龙骨封条 国内无符合技术标准、型号产品61 特氟龙塑料制风口 国内无符合技术标准、型号产品62 冷轧不锈钢无缝管(电子抛光不锈钢) 无缝，高光洁度，国内无符合技术标准、型号产品
316lba＆ep不锈钢管，平均表面粗糙度ra：ba＜
10u"，ep＜3u"；最大表面粗糙度rmax：ba＜3um，
ep＜0．7um。使用管径1／8"，1／4"，3／8"，1／2"，5／8"，
3／4"，15a，25a，40a，50a，65a，80a，100a，
125a，200a，250a，300a等63 冷轧不锈钢无缝管(铁或非合金钢) 无逢，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标
准、型号产品64 冷轧不锈钢无缝管(其他合金钢) 无缝，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标
准、型号产品65 非冷轧不锈钢无缝管 无缝，国内无符合技术标准、型号产品66 不锈钢焊缝管(成品) 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品67 不锈钢直管、弯管、连接件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品68 钢制风口及其支撑件和附件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品69 铜管 国内无符合技术标准、型号产品70 风机盘管 冷却用，国内无符合技术标准、型号产品71 空调箱系统及其零配件，包括空调系统
盘管、挡水板、防潮器、连接件 国内无符合技术标准、型号产品72 冷却盘管(成品) 国内无符合技术标准、型号产品73 过滤器／高效过滤器／y型过滤器 国内无符合技术标准、型号产品74 过滤、净化器分配装置及其附件(过滤
器用冷盘管) 国内无符合技术标准、型号产品75 酸式洗涤器 国内无符合技术标准、型号产品76 传感器 国内无符合技术标准、型号产品77 橡胶软管／防震软管 expansion joint 管路伸缩保护用，国内无符合技术标准、型号产品78 钢制软管／防震软管 flexible pipe connector 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品79 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱 general process exhaust废气洗涤) fan 国内产品目前无验证资料，国内无符合技术标准、型
号产品80 溶剂废气处理装置 voc abatement device 工艺排气处理，国内无符合技术标准、型号产品
(contain fan and vfd)81 温度传感器 国内无符合技术标准、型号产品82 水及其它蒸汽动力装置的冷拟器 dearator 厂区供热系统用以除去水中氧气，国内无符合技术标
准、型号产品83 其他辅助设备备用零件 steam de-temp de- 厂区供热系统减温用，国内无符合技术标准、型号产
vice 品84 油泵 oil pump 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品85 电动风门，气动控制风门，防火风门， motorized damper pe- 空调管道风系统控制用，防火风门(fm)，国内无符
排气风门 numatic damper, fire 合技术标准、型号产品
damper, air damper86 变风量控制箱及配件 vav box system 办公环境空调用(控制风量0-100％±3％)，国内
无符合技术标准、型号产品87 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件 国内无符合技术标准、型号产品88 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件
(非圆型截面) 国内无符合技术标准、型号产品89 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱
废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品90 真空泵 steam system pumps 蒸汽系统水力输送用，国内无符合技术标准、型号产品91 工艺用真空设备及附件 prcess vacuum pump 生产工艺设备用，国内无符合技术标准、型号产品
& auxillary equipments 92 风机 fan 工艺送排气处理(35000-130000cmh，静压达8""
wg)93 风淋室 air shower 生产环境人员洁净控制用，国内无符合技术标准、型
号产品94 冷却塔 cooling tower 国内无符合技术标准、型号产品95 冷水机组(冰水主机) chiller 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品96 工艺冷却水系统 process cooling water 提供工艺冷却水给无尘设备用，国内无符合技术标
system 准、型号产品97 防火填塞 fire barrier sealing 冰水系统用防堵性材料，需符合ul/fm认证，国内
无符合技术标准、型号产品98 冷媒(制冷剂) refrigerant 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品99 热交换装置 heat exchanger 热能转换，国内无符合技术标准、型号产品100保温材料(橡胶，泡棉，玻璃纤维，铝 insulation 制层) 管路保温用，国内无符合技术标准、型号产品101管阀及配件 valve 管道流体控制用，国内无符合技术标准、型号产品102风机过滤器 fan filter unit 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品103干盘管(冷却盘管) dry coil 生产环境空调用，国内无符合技术标准、型号产品104高效率过滤网(筛)／超高效率过滤网 hepa/ulpa filter (筛)／油过滤网(筛)／充填过滤筛网 0．12um空气过滤器，过滤有效率达到99．9999％，
生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品105管道过滤单元(过滤网) filter 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品106水洗台 国内无符合技术标准、型号产品107卸货平台 docklevelers 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品108滑升门 sectional doors 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品109工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品110加湿器及其配件(配管、喷嘴) steam type humidifier 空调湿度保持，国内无符合技术标准、型号产品111消音箱 sound attenuating cha- 生产环境噪音控制，国内无符合技术标准、型号产品
mber112避震器(管吊架，避震弹簧，电木／橡塑 shock absorber发泡，支撑管垫) 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品113自动释气阀 air vent 管路排气用，国内无符合技术标准、型号产品114风机过滤器监控装置 fan filter units control 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品
and monitor 115控制器 actuator 控制温湿度稳定(控制精度temp 22±0．5℃，rh
43±3％)116变风量控制箱及配件 国内无符合技术标准、型号产品117疏水器 steam trap 管道系统用，国内无符合技术标准、型号产品118洁净室专用接地电线及配件 clean room grounding 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品
system 118洁净室专用接地电线及配件 clean room grounding 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品
system119空气洗涤器 air washer 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品120不锈钢风门，不锈钢内衬特氟龙风门 stainless steel damper, 工艺排气管道用，国内无符合技术标准、型号产品
stainless 121沸石转轮 rotator 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品122燃烧炉 flammable oven 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品123燃烧器 flammable device 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品124无尘室用高速洗手干燥机 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品125冷冻机组／冷冻蒸发器 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品126真空系统(不含微机和外没) house vacuum system 无尘室洁净用，国内无符合技术标准、型号产品127接液盘 国内无符合技术标准、型号产品128有载调压开关(高压) 国内无符合技术标准、型号产品129电缆终端 国内无符合技术标准、型号产品130发电机用零件 发电装置，达到电压时间为15秒，国内无法达到多台发
电机的群控并联方式，国内无符合技术标准、型号产品131空气滤清器 空气滤清装置，国内无符合技术标准、型号产品132离合器 机械耦合装置，国内无符合技术标准、型号产品133逆变器 国内无符合技术标准、型号产品134充电器 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国
内无符合技术标准、型号产品135电瓶组 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国
内无符合技术标准、型号产品136电容器 用于改善电气设备功率因素，与配电柜一起进口，电
压范围300kw-1500kw，国内无符合技术标准、型
号产品137电路的开关，保护或连接用的电气装置／ 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品
断路器 138避雷器 电源断开设备，国内无符合技术标准、型号产品139保护电驿(保护用继电器) 线路保护装置，国内无符合技术标准、型号产品140并联开关盘(电气控制及电力分配的盘，台，柜)／马达控制盘／配电盘 发电开关装置，国内无符合技术标准、型号产品141马达变频控制器 power panel mcc 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品142用于电器控制或电力分配的盘、板、台、柜及其他基座的零件 国内无符合技术标准、型号产品143六氟化硫气体及充填装置 绝缘用气体，国内无符合技术标准、型号产品144感应耦合器 储能装置，国内无符合技术标准、型号产品145同步机 整流装置，国内无符合技术标准、型号产品146电力系统用电缆及辅料 电源用电缆及另料，国内无符合技术标准、型号产品147多功能电表 功能指示装置，国内无符合技术标准、型号产品148滤波器 国内无符合技术标准、型号产品149自动功率因素调整器 功率因素改善装置，国内无符合技术标准、型号产品150自我保护装置(过磁保护电驿，差动保 protection system 国内无符合技术标准、型号产品
护，接地故障保护瞬动，接地故障延时
过流，过电压及低电压保护电驿)151二氧化碳喷淋系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品152有机储存槽 国内无符合技术标准、型号产品153塑料制、聚乙烯(pvc)、偏聚二氟乙 高纯度电子级／耐高温，耐强酸碱
烯，特氟龙制、聚偏二氟乙烯、透明聚
氯乙烯、聚丙烯、连接件管件及其附件；
净化室防电击软管154设备安装用气体、化学品管子(不锈钢 国内元符合技术标准、型号产品
304、316材料)，连接件及配件155阀门，控制阀(及其配件) valve 管道冰水控制用，国内无符合技术标准、型号产品156气体探测头／气体侦测器侦测头 国内无符合技术标准、型号产品157石英管推车 用于搬运工艺用石英管，附防尘、防震装置，国内无
符合技术标准、型号产品158运酸台车 用于搬运工艺用酸性材料，附防尘装置，国内无符合
技术标准、型号产品159桌上型氟离子测量仪 国内无符合技术标准、型号产品160离子交换树脂(颗粒状)／交换树脂 国内无符合技术标准、型号产品161塑料制／特氟龙制储藏罐 储藏高纯度化学品(316低碳不锈钢)国内无符合技
术标准、型号产品162石英管柜 国内无符合技术标准、型号产品163盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器
(容积＞300升) 采用316低碳不锈钢，国内无符合技术标准、型号产
品164盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器 国内无符合技术标准、型号产品(容积50升－300升)165盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器 国内无符合技术标准、型号产品(容积＜50升)166装压缩或液化气的钢铁容器 国内无符合技术标准、型号产品167混合机件及其相关配件 agitator/mixer/fan/ 超细晶片研磨液加水或双氧水后，稀释、搅拌混合装
blower and accessory 置。国内无符合技术标准、型号产品168紫外线灯单元模块及其相关配件 uv unit /accessory 国内无符合技术标准、型号产品169监测仪器及其相关配件 analysis instruments/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 170逆渗透单元组及其相关配件 reverse osmosis(ro) 国内无符合技术标准、型号产品
unit/accessory171水系统动力控制单元及其相关配件 power & control 国内无符合技术标准、型号产品
unit/accessory 172真空脱气模块及其相关配件 membrane degasified 国内无符合技术标准、型号产品
unit & accessory 173超过滤模块及其相关配件 ultrafitration unit/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 174多层过滤塔及其相关配件 multi media fitter/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 175活性碳过滤塔及其相关配件 active carbon filter/ 国内无符合技术标准、型号产品
accessory 176文丘利供液装置 ejector 国内无符合技术标准、型号产品177真空脱气模块 membrane degasify 国内无生产／整体系统引进
module 178减速机(不锈钢304材质) reducer 国内无符合技术标准、型号产品179滤心 filter 整体系统引进/国内产品目前无验证资料180石英砂 sillicon sand 国内无符合技术标准、型号产品181活性碳 active carbon 国内无符合技术标准、型号产品182桶，槽容器(玻璃钢制品)(聚二氟乙烯 frp material 盛装高纯度化学品，防污染，国内无生产，整体系统衬里) 引进183密封件(材质丁氰橡胶／聚四氟乙烯／聚二 packing (epdm/ptfe 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
氟乙烯／不锈钢316／不锈钢304) /pvdf/sus316/viton
/sus304 184过滤填充料 gravel 国内无符合技术标准、型号产品185目视玻璃窗 sight glass 采用可绝缘、隔热且具有良好抗静电特殊材质，用于
纯水系统的离子交换树脂塔目视窗，国内无符合技术
标准、型号产品186桶，槽容器(不锈钢制品)(聚二氟乙烯 国内无符合技术标准、型号产品
衬里)187空气泵或真空泵，空气及其他气体压缩 blower 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
机，风机及风扇，防爆风车188真空泵相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品189过滤器(材质不锈钢304／不锈钢316) filter housing 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
(sus304/sus316) 190活性碳过滤塔(碳钢／不锈钢316／不锈钢 ac tower (cs/cs bub- 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
304，内衬橡胶) ber lining/sus316 /sus304191离子交换树酯塔(碳钢／不锈钢316／不锈 ion exchange tower (cs 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
钢304，内衬橡胶)及其相关配件 rubber lining/sus316
/sus304) 192超过滤膜及其相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品193监控系统(不含微机和外设) scada system 国内无生产，整体系统引进194搅拌机 agitator 用于化学药品搅拌及废水处理槽搅拌，氟系废弃物处
理，以加强处理效果，国内无生产(硬件)，整体系
统引进／国内产品目前无验证资料195搅拌机相关配件 accessory 国内无符合技术标准、型号产品196自动溶解泡药装置 氧化铝加水成氢氧化铝后沉淀用，国内无符合技术标
准、型号产品197污泥饼机(压滤机) filter press 用于氟系废弃物处理，氟化钙淤泥脱水使其污泥干燥度
达处理水平，国内无生产，国内产品目前无验证资料198紫外线杀菌灯单元模块 toc uv unit 国内无生产，整体系统引进199安定器 ballast 紫外线杀菌灯单元模块配套元件(硬件)，国内无符
合技术标准、型号产品200Ｏ型环 o ring 密封圈，材料为橡胶、偏氯二氟乙烯聚二氟乙烯、丁
氰橡胶等，国内无符合技术标准、型号产品201臭氧产生器 o3 generator 国内无生产，整体系统引进202管路集散器 distributor 国内无符合技术标准、型号产品203减震模块 virbaration 国内无生产，整体系统引进204桶槽呼吸单元模块 breather unit 国内无生产，整体系统引进205液体，气体的测量或检验装置及其零配 flow meter (sus304/ 国内无生产，整体系统引进
件 sus316, ultrasonic) 206气体侦测模块 gas detector 国内无生产，整体系统引进207呼吸器快速接头 ba quick coupling 国内无符合技术标准、型号产品208空气室 air chamber 国内无符合技术标准、型号产品209离子交换树脂再生塔不锈钢316／304，碳 ion exchange tower 国内无符合技术标准、型号产品
钢橡胶内衬 (cs rubber lining/
sus316/sus304) 210人机界面(用于监控系统现场设备)软件 man machine-interface 监控系统现场设备的连接装置，是一种组态软件，国
内无符合技术标准、型号产品
211压缩空气系统干燥机 cda dryer 国内无符合技术标准、型号产品212真空传感器 vacuum detector 国内无符合技术标准、型号产品213超洁净化学品供应单元 supply unit (n2 pres- 国内无符合技术标准、型号产品 sure & pumping type)214超洁净化学品浓度稀释单元 dilution unit 国内无符合技术标准、型号产品215超洁净化学品注入单元 charge unit 国内无符合技术标准、型号产品216化学废品收集单元 waste collection unit 国内无符合技术标准、型号产品217气体分配箱及阀件 valve manifold box, 国内无符合技术标准、型号产品 valve, regulator,fil- ter and pressure transducer 218气体监控及侦测防护系统(含监视器、 gas monitoring system 国内无符合技术标准、型号产品 光纤、光缆，不含微机和外设)219特种气体纯化及监测装置(含监视器、 specialty gas purifier 国内无符合技术标准、型号产品 光纤、光缆) and monitor220监控系统及可编程控制器(含监视器、 monitoring system 国内无生产光纤、光缆，不含微机和外设)221纯水枪 diw gun 国内无符合技术标准、型号产品222氮气枪 n2 gun 国内无符合技术标准、型号产品223化学品防漏膜片特氟龙、316低碳不锈钢 国内无符合技术标准、型号产品224加热带(金属材料、特种塑料) heater line/heater 国内没有生产 trace 225加热外套(金属材料) heat jacket 用于气瓶加热提高蒸发量，不锈钢材料，国内没有生产226空气呼吸器系统，含有带镜架防毒面具 breath air system 国内没有生产 (硅胶材料)，压缩空气气瓶(不锈钢或 碳纤材料)，及上述设备连接管及配件 (不含微机和外设)227累计器 accumulator 国内无符合技术标准、型号产品228冷凝器 cooler 国内没有生产229铝合金电缆槽 aluminum cable tray 外表有烤漆，防尘、防静电、防化学品腐蚀、防产生 微粒，国内无符合技术标准、型号产品230末端阀箱 end box 国内产品目前无验证资料231火焰警报器，压力表及废气排放管(不 gas cabinet 国内没有生产 锈钢内涂树脂)，消防水管(不锈钢)， 仪表控制用气体连接管(不锈钢或特氟 龙管)等232气体分配箱 内含不锈钢外壳和支架， 国内没有生产 气体输送分配盘及废气排放管(不锈钢 内涂树脂)，仪表控制用气体连接管(不 锈钢或特氟龙管)等233钢瓶紧急泄露处理车 emergency response 国内没有生产 containment vessels for leaking cylinders 234氧化，金属及铜工艺研磨液供应系统 oxide, cu process & 国内无符合技术标淮、型号产品 (不含微机和外设) metal dilution & suply unit235化学门感应器 door sensor 国内无符合技术标准、型号产品236紫外线感应器 uv sensor 国内无符合技术标准、型号产品237泄漏测量器 leak detector 国内无符合技术标准、型号产品238随身携带呼吸器件(scba空压机) 一种空气系统，国内无符合技术标准、型号产品239超级过滤膜及外壳(高洁净高强度工程 国内无符合技术标准、型号产品 塑料、超洁净不锈钢)240超级过滤器及外壳(高洁净度、高强度 国内无符合技术标准、型号产品 工程塑料)241不锈钢管及连接件、抗压力指数大于等 国内无符合技术标准、型号产品 于4公斤的钢管、膨胀节242化学品过滤系统用零配件 国内无符合技术标准、型号产品 243机械轴封(配件) 国内无符合技术标准、型号产品244随身携带呼吸器件(scba空压机)备用 back-up gas cylinder 气瓶 of scba 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气245化学品泄漏处理对象、器材及防护衣 chemical leakage spe- 处理化学品泄漏时防护及处理器材 cial material 246可燃／毒性物防爆箱 chemical temporary 储存腐蚀性及易燃液体 storage 247自动灭火喷淋系统（不含微机和外设） sprinkler system 净化室消防灭火用，需fm认证248消防(火灾)防护防害器材及防护衣物 fire fighting protec- 消防灭火的防护衣服手套等 tion material 249全套自供式呼吸器(含碳纤气瓶) self container breat- 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 ing aparatus(scba) 250磁簧感应器、红外线对照式侦测器、主 access system 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 机及控制器、路由器等 员出入251磁力锁 electric lock 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 员出入252寻址式火警控制盘、相应模块 addressable fire 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 alarm control panel & module 253无尘室用二氧化碳灭火器 co2 fire extinguisher 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品254二氧化碳系统(含钢瓶，喷头，烟感器， co2 system 控制盘，不含微机和外设) 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品255防爆型摄像头、高分辨率摄像头 cctv system 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 处理发生相关事件256防火／防烟风门 fire stop, fire/smoke 消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品 damper 257感应读卡机 proximity card reader 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 员出入258高压气瓶泄漏处理设备储备器材 coupressed cylinder 国内无符合技术标准、型号产品 leakage treat equipment 259画面处理单元 drawing handle unit 监视无尘室等运行状态，作画面处理(如分隔和警 报)，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件260环境安全管理监视系统[含影像接收， monitoring system 国内无符合技术标准、型号产品 处理，记录系统、监控器、光纤、光缆， (including video （不含微机和外设）] receiving ,processing, recording system)261回路控制单元 loop control unit 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 处理发生相关事件262回路控制器 loops controller 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品263火警报警，(广播)系统(感应，灭火逃 fire alarm, public 火灾侦测报警用，需fm认证 生警报单元，控制单元，不含微机和外 address system (de- 设) tection, alarm unit)264火警矩阵主机(连动门禁、电梯、排烟 fire system materix 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 及广播系统) link265极早期火警警报系统(不含微机和外设) very early smoke de- 洁净车间火灾侦测报警用，需fm认证 tection system266紧急广播主控器、相应模块及附件 emergency p.a. main 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 controller & module267紧急洗眼及冲淋器具 国内无符合技术标准、型号产品268警报 输入／输出(i／o)界面(用于门禁 alarm i/o interface 一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及 系统) 控制无尘室等人员出入269空气采样管(特种塑钢) air sampling piping abs(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯三元共聚物)塑钢本 身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中270空气采样系统主机、相应模块及附件 air sampling smoke 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 detector, main machine 271门禁管理系统(不含微机和外设) access control alarm 有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万 system (accessory) 个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品 (control unit) 272泡沫灭火系统(含泡沫桶，控制盘，不 foam extinguish sys- 含微机和外设) tem 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品273网络接口组件、图控压缩软件(用于火 network interface 火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、 灾探测报警用／火警广播) unit, graphic com- 型号产品 press software 274网络界面设备及附件 network interface unit 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中275视觉信号装置零备件 system accessories 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品276消防组配件(洒水头，泡沫头，压扣开 fir protection system 消防系统，国内无符合技术标准、型号产品 关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…) accessories (sprinkler head, foam head, emergency push botton,speaker…)277信号收集单元 signal collect unit 一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品278烟感及温感器 smoke detector 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品279安全保护器具 safety protection 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需 equipment fm认证280厂务监控系统(不含微机和外设) facility management & 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产 control system 281编程工具 programming tools 用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所 有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内 无符合技术标准、型号产品282监控器与监控盘体(含监视器) controller and control 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 panel 产，国内无符合技术标准、型号产品283输入／输出 监控工作站(不含计算机) i/o control workstation中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量 及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室 稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品284网络设备(不含计算机) neworking device 工业级etchmet kingbus网络确保净化室监控网络的 稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳 定生产，国内无符合技术标准、型号产品285数据库应用工具 database application 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 tools 产，国内无符合技术标准、型号产品286专用测试系统（不含微机和外设） special instruments 国内无符合技术标准、型号产品 for clean room 287静电监测系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品附件2：部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录序号 设备类型 英文名称（企业参考） 设备零、配件 零、配件税则号列1 化学机械研 cmp 研磨（二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、 84799090／84669300 磨设备 钨研磨）设备配件（化学机械研磨机） 2 defect inspection/ back order 缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)/自动缺陷 for rt 8800 automatic ret- 检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接 90299000／90319000 icle inspection system/mask 口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 particle & pellicle defection system3 particle counter 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 90299000／903090004 profiler 剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪) 903090005 表面轮廓仪配件 903090006 wafer sort 晶圆分类机设备配件 847990907 扩散设备 rta 快速热退火炉－热退火设备配件(快速热处 理器) 851490908 sheet resistance 电阻量测仪配件/层电阻测定仪配件/比电阻测 90309000／90319000 定仪配件 9 surface charge analyzer 表面电荷分析仪配件 9027900010 vf lpcvd 低压化学气相沉积炉管配件 84859000／84799090／8479909011 vf poly oxide/anneal 常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、 膜生长垂直炉管)配件 8514909012 parts for vertical furnace 氧化机配件 8419909013 ipi 高温燃烧废气处理设备配件 8419909014 vacuum pump 真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 8414909015 tube cleaner 炉管清洗设备配件/炉管清洗机配件/炉芯管清 84219990/85149090 洗机配件16 dry scruber 干式清洗设备配件(清洗机) 8419909017 parts cleaner hf 零件清洗机配件 84249090／84219990／8543909018 静态老化炉配件 8417909019 数字器件标准老化炉配件 8514900020 单晶硅外延炉配件 841790902l 老化炉配件 8514900022 扩散炉配件 8514909023 聚酰胺烘陪炉配件 8514909024 氮气处理配件 8514909025 椭圆仪配件 9031900026 扩散用工夹具清洗机/化学气相沉积用工夹具 85149090/84799090／84669300 清洗/工夹具有机清洗装置配件27 温度控制器配件 9032900028 温度分布测定机配件 9031900029 化学气相沉 除害装置配件 84219990 积/薄膜设备 30 四乙氧基硅烷(teos）供给系统配件 8479909031 磷浓度测定仪配件 9026900032 尘埃检查仪配件 9030900033 粒子监视系统配件 9030900034 供气系统／气体供给系统配件 8479909035 气体精制机(氮气)配件 8421999036 涡轮分子泵／低温泵配件 8413910037 特性检查配件 9031900038 气体泄漏监视系统配件 9026900039 气体集中供给装置配件 8479909040 cif3废气吸附装置配件 8421999041 聚酰亚胺烘焙配件 8479909042薄膜设备 ftir 傅力叶红外线检测仪配件(量测仪) 9031900043 pvd 物理气相沉积设备(仪)配件 8421999044 cvd 化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积 设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化 84219990／84799090 学气相沉积配件45 smif arm 标准机器界面设备配件(晶片上料机) 8485900046 smif 小型无尘室配件 8421999047 parts cleaner 工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片 盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)（清 84249090／84219990 洗机)48 擦片机配件/化学机械抛光擦片机配件/浅沟道 84799090/84669100 隔离化学机械研磨擦片机/双面擦片机配件 49 waste gas treatment (in- 工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理 cluding local scrubbver, 设备) 85149090 burn tube, cool trap) 50 stress measurement system 应力测量仪配件／应力测定仪配件 90309000／90269000 parts 51 sputter 溅射设备配件 8479909052 vapor hf 气相清洁设备配件 8479909053 xrf x射线测量仪配件(x射线晶片分析仪) 9030900054 cu plating 铜电镀机配件 8479909055 wafer transfer system parts 晶盒运输设备配件 84859000／8479909056 wafer scrubber system parts 晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清 84219990 洗机)(清洗过滤机)配件。57 liquid delivery system parts 自动供液系统(输送机)配件 8485900058 sheet resistance measure- 阻抗量测仪器及配件 90309000 ment system and parts 59 esd tlp system 静电测试系统配件 9030900060金属化 溅射台配件 8479909061 段差测定仪配件 9031900062 表面反射率计配件 9031900063 真空烘箱／烘箱／ht烘箱配件 85149090／8514900064 固化烘箱／塑封固化烘箱配件 8477900065 喷砂机配件 8424909066 干燥机／版盒干燥机配件 8514909067 茧光x线分析装置配件 9031900068干法蚀刻 corner rounding 倒角设备配件 8466930069 metal /w etchback etch 金属／钨回蚀设备配件 8466930070 microscope /wafer loader 光学显微镜／硅片承载器配件 9011900071 etch-spacer 衬垫蚀刻设备配件 8466930072 opticstation 光学检测设备配件 9031900073 etch 蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干 式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻 蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻 84669300／84669300 蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件74 plasma clean 等离子体清洁设备配件 8479909075 resist strip 去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 84219990/／84799090／84669300／ 84669300 76 sn de-polymer 高分子聚合物去除设备配件 8479909077 uv curing -met 紫外线固化(金属)设备配件 8479909078 回刻机配件 8466930079 气体泄漏监视装置配件 9026900080 工夹具水洗装置配件 8466930081 工夹具干燥装置/化学气相沉积用工夹具干燥 85149090／84799090 配件 82 研磨设备 backside grinder/polisher 晶片背研磨机(研磨机)配件 84799090／8466930083 bacside thickness measure- 背面侧厚仪配件 90269000 ment 84 detape 去膜机配件／卸膜机配件 84799090／8466930085 tape 贴膜机配件 84799090／8466930086 离子注入设备 dose measurement 剂量测量设备配件 9028901087 current imp 离子注入设备配件(高速流、高能量) 8543901088 离子注入设备配件(中速流) 8543901089 喷砂机配件 8543909090 光罩生产设备 aims metrology system 空间影像模拟系统配件 9008909091 auto pellicle mounting sys- 自动防尘保护膜系统配件 84799090 tem 92 cd metrology system 微距量测系统配件 9017900093 coater & hot plate 镀膜机配件 8479909094 fib reticle repair system 聚焦离子束光罩修补系统配件（光罩修补系统） 9027900095 film thickness measurement 薄膜厚度量测机（测量仪器）/膜厚测定仪/厚 90309000／90319000 tool 度仪配件 96 laser beam writing 扫描式（步进式、电子束、镭射束）曝光机 90109090 配件 97 镭射束（电子束）曝光机配件（镭射刻读机） 84799090 配件 98 laser reticle repair system 镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统) 9027900099 光罩修补系统配件 90279000100 m & m visual inspection 目检机（包括焊线目检机、自动目检机、自 90319000/84799090 tool 动盘装目检机、自动管装目检机）配件 101 manual pellicle mounting 手动防尘保护膜系统配件 84799090 tool 102 optical chemical processor 光学化学制程机配件(光掩模制程机) 90109090103 overlay metrology system 标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪) 90179000104 phase angle measurement 相位量测系统配件 90179000 tool105 starlight inspection system 微尘检验系统配件(脏污检验系统) 90309000106 reticle fine-cleaning system/ 光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件(水 84799090 wet bench 洗台)／去光阻清洗系统配件 107 扫描电子测量仪配件 90309000108产品工程设 mosaid efa tester 测试机配件 90309000 备109 un eraser 紫外线光源擦除机配件 85439090110 cycling machine 重复读写测试机配件 90309000111 precision semiconductor pa- 精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件 90279000 rameter analyzer 112光刻设备 ammonia detector 氨气检测器配件(多种气体分析仪) 90279000113 hot plate 热板烘干机配件 84799090114 in-line duv scanner 光刻机配件 90109090115 光刻机用控制器配件 84859000116 in-line duv track 在线式涂布显影机配件 84799090117 mask optical microscope 显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微 镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜／ 90129000／90119000 非接触测量显微镜)配件118 光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／x 射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射 90119000 显微镜配件119 立体显微镜配件 90119000120 overlay 套刻精度仪配件（量测仪）／套刻精度检测仪配件90309000／90319000121 coater 涂布机配件(涂胶机)／涂敷机配件 84799090122 developer/pr reworker 显影机配件 84799090123 reworker dryer before cure 光刻胶预处理设备配件 84799090124 紫外线光刻胶硬化机配件 90109090125 reticle charger/macro check 光罩检测仪配件(晶片盒开封机) 84799090 station126 starlight mask inspection 光罩检测检查系统配件 90319000 system 127 版盒清洗机配件 90330000．90128 硅片周边曝光装置配件 90330000．90129 紫外固胶机配件 90330000．90130 紫外线处理装置配件 90330000．90131 罩清洗机配件 90330000．90132 显影液供给系统配件 90330000．90133 溶剂供给系统配件 90330000．90134 氦气气瓶柜配件 84799090135 掩膜板检测仪配件 90331000136 扫描电镜配件 90119000137 聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 90330000．90138 测试工作台配件 90319000139 硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片 84799090 机配件 140 外观检查仪配件 90319000141 背面外观仪配件 90319000142 质量保证设 sims 二次离子质谱仪配件(质谱仪)／电感偶合质 90279000 备 谱仪配件 143 air sampler 空气取样器配件(极早期空气采样系统) 90329000144 gc/ms (gas chromatography 气相色谱质谱联用分析仪配件 90279000145 gfaas 石墨炉原子吸收光谱仪配件（原子 吸收分光光谱仪） 90279000146 ion chromatography 离子色谱仪配件 90279000147 kf titrator 水分滴定仪配件(水分仪) 90319000148 microwave concentrator 微波浓缩装置配件 90309000149 auto titrator 自动电位滴定仪配件(自动滴定仪) 90319000150 viscometer 粘度计配件(粘度测量仪) 9031900151 hot plate 搅拌器配件 84749000152 加热器配件 85169090153可靠性保证 auto-decapsulation machine 自动开封机配件(晶片盒开封机) 84799090 设备154 fib 聚焦离子束设备配件 85439030155 io milling 离子减薄机配件 84799090156 micro cleaving 裂片机配件 84799090157 microsection/polisher 抛光机配件(化学机械抛光设备) 84859000／84669100158 precision saw 精密切割仪／激光切割机配件(低速切割机) 84859000／84669300159 reflow 回流焊设备配件 84689000160 sample preparation-co2 system 二氧化碳气泡机配件 84799090161 sample preparation-dicing saw 划片机配件 84799090／84779000／84649100162 sample preparation-die bonder 上片机配件(粒子上片机) 84799090163 sample preparation -wafer 粘片机配件 84799090 mounter164 sample preparation-wire bonder 焊线机配件 85159000165 x-ray x射线分析仪配件(x射线晶片分析仪) 90309000166 failure analysis instrument 故障分析仪配件 90309000167 failure analysis sample 失效分析样品制备系统配件 90319000 preparation168 el grade clean plastic bottle 超洁净塑料瓶 39269010 (pe/pp/ptfe)169 sterilized sampling tube 无菌采样管 39172900170 volumetric flask (pe/pp/ 超洁净塑料凉瓶 39269010 pfa/pmp)171 micropipette 微量移液管 39269010172 diw sample bag 无菌取样袋 39239000173 plastic syringe 无菌塑料针管 39173900174 分析装置配件 90319000175 去离子水系统配件 84219990176 中央控制系统配件 84733090．90177 蒸汽回流机配件 85439090178 红外线回流系统配件 90319000179 塑模开封机配件 84669100180 化学腐蚀装置配件 8466930018l 超声波清洗系统配件 84669300182 超声波图机配件 90319000183 热载流子分析仪配件 90319000184 曲线跟踪仪配件 90319000185 pod/cassette inspection 晶盒检测仪配件 90309000186 txrf x射线荧光光谱仪配件 90279000187 w.s. wafer scrubber-non metal 晶片去离子水喷射刷洗设备配件 84249090188 wafer marker 激光晶圆刻片机配件(激光刻号机) 84799090189 wafer rs& thk/flat 晶圆片厚度／平整度测量仪配件(表面凸凹检 90309000 测仪）190 alu 石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机) 84799090191研发设备 dynamic signal analyzer 动态信号分析仪配件(噪声计) 90309000192 超声波扫描仪配件 90319000193 温湿度箱／压力锅配件 85439090194 高加速应力实验箱配件 90309000195 逻辑分析仪配件 90279000196 晶体管曲线仪配件 85439090197 静电模拟测试机配件 90309000198 lcr meter 电感电阻电容测试仪配件 90309000199 pulse generator 专用脉冲发生器配件 85439029200 semiconductor parameter 半导体参数分析设备配件(参数分析仪) 90279000／85439090 analyzermanual 201 semiconductor parametric 半导体参数测试设备(仪)配件 90309000 tester 202 switch matrix 信号自动转接器配件 85191090203 rf noise figure instrument 高频噪声系数分析仪配件 90319000204 iccap rf measurement system 高频测试系统配件 90319000205 curve tracer 信号轨迹追踪器配件 90319000206 esd tlp system 静电放电测试系统配件 90309000207 图像处理器配件 84719000208 绘图机配件 90330000．90209 热波测试仪配件 90279090210 高低温分析仪配件 90319000211 微探针台配件 90319000212 电子束探针／热探针仪／自动多探针配件 90319000213 验证测试系统配件 90319000214测试设备 laser repair 激光修复仪配件 90319000215 logic tester 元件电参数测试设备配件 90319000216 prober card check 探针卡检测仪配件(探针测试仪) 90309000217 prober 探针台(手动、半自动、自动、微探针台) 84799090／90319000 配件218 探针卡219 wafer bake oven fittings 烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、 85149090／84199090 银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉）配件 220 logic tester fittings 逻辑测试机配件 90319000221 memory tester fittings 记忆体测试机配件 90319000222 wafer loader 晶圆装载机配件 84799090223 tester equipment pc tool 测试设备电脑工具配件 84719000 fittings224 probe card making equipment 探针卡制作设备配件 84799090 fittings 225 ultra sonic container fittings 超音波震荡器配件 90319000226 tester electronic meter 测试仪计量设备配件 90309000 fittings 227 mother-plate fitting for tester 测试仪专用工夹具及配件 90319000228 microscope guard against 显微镜防震工作台配件 90119000 earthquakes fittings 229 thermometer & humidometer 温湿度测试仪配件 90259000 fittings 230 与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 84859000231 logic analyzer fitting 逻辑分析仪配件 90279000232 precise oscillator fittings 精密示波器配件(示波器) 90309000233 wafer burn-in tester fittings 炙烧测试机配件 84799090234 dynamic wafer burn-in bake 动态老化晶圆烤箱配件 84199090 oven fittings 235 mixed signal tester fittings 混合型测试机配件 90319000236 数字测试系统配件 90319000237 混合信号测试系统配件 90319000238 密封机配件 84779000239 外观检查仪配件 90319000240 切片机配件 84669100241 粉尘收集器配件 84213990．90242 尘埃测定器配件 90319000243 热电子分析仪配件 90319000244湿法刻蚀设 w.s. cleaner 湿法清洗设备配件 84799090 备245 晶片再生处理机配件 84569990．90246 wafer transfer/ transfer, 晶片传送器配件(晶片传送机) 84859000 horizontal, wafer, automatic 247 超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片盒清洗 干燥机／剥膜清洗机伯动腐蚀清洗机／片架清 84669300 洗机配件248 氧化膜腐蚀配件 84669300249 氮化硅腐蚀配件 84669300250 磷玻璃层去除设备配件 84669300251 化学机械抛光清洗机配件 84669100252 浆料供给装置配件 84669300253 光刻胶剥离配件 84669300254 减薄机配件 84669100255 化学机械研磨用纯水加压装置配件 84669100256 半球形玻璃(hsg)前处理装置配件 84669300257 寿命测试仪配件 90319000258 片架检查仪配件 90319000259 淀积物去除装置配件 84669100260 栅氧化前处理配件 84669300261 荧光x射线分析装置配件 90319000262 化学机械研磨用残膜测定仪配件 90319000263 前处理装置配件 84669300264搬送 工程间搬送设备配件 84859000265 工程间有轨／无轨搬送设备配件 84859000266 掩模版库配件 90330000．90267 机器人配件 84799090268 精选机配件 90319000269封装 贴片机配件 84779000270后工序封装 等离子清洗机配件 84799090 设备27l 晶片粘贴机配件 84799090272 金线拉力检测机配件 90309000273 自动生产线线体配件 84799090274 二氧化碳充气机配件 84799090275 印字机配件 84439000276 切筋成型机配件 84669400277 x光机配件 90229090278 植球机配件 84779000279 清洗机配件 84799090280 推球测试机配件 90309000281 内脚焊接配件 84689000282 封胶机配件 84779000283 抓料机配件 84799090284 电镀机配件 84799090285后工序测试 自动分检机配件 84799090 设备286 卷带包装机配件 84799090287 老化板测试机配件 90309000288 自动上下料分检机配件 84799090289 紫外线擦除机配件 85439090290 电源及其配件 85049020291实验分析校 温湿度箱／压力锅配件 85439090 准设备292 高加速应力实验箱配件 90309000293 回流焊机配件 84799090294 温度循环测试机配件 90309000295 纯水加压机配件 84779000296 装片机配件 84779000297 键合机配件 84779000298 键合检查仪配件 90319000299 塑封压机／塑封机配件 84779000300 塑封模配件 84779000301 切筋打弯机配件 84779000302 存储器测试系统配件 90319000303 分选机配件 84779000304 管脚检查系统配件 84779000305 插拔机配件 84799090306 老化测试板检查仪配件 90319000307 托盘处理机配件 84779000308生产管理自 主系统服务器配件 84733090．90 动控制系统 309 生产管理系统配件 84733090．90310 管理系统服务器配件 84733090．90311 自动装载系统配件 84733090．90312 生产控制系统1vw配件 84733090．90313 后道生产控制系统服务器配件 84733090．90314 抄送邮件服务器配件 84733090．90315 网络设备(fa，0a)配件 84733090．90316 网络测试系统配件 84733090．90317芯片出货检 wafer vacuum packing machine 各类芯片专用真空包装机配件/真空包装机配件 84229090／84779000／84799090 测设备 318 om digital printer 显微镜数码打印机配件 84859000319 om 3ccd rgb camera (带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件 90069199320 bar code printer 工业用条形码打印机配件 84859000321 vlst standard wafer 各类校准用标准晶片配件 90319000322 trh meter, anemometer, 各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 90269000 trh recorder323 lockreel 塑料带轮配件 39269090324 tip, wand, vaccum 硅片(晶片)吸附头 39269010325 vaccum pick-up pencil with 真空吸笔及吸头 40161010 head326 cabiliary 瓷嘴配件 69149000327 diamond cut-off wheel 切割轮(金刚砂)配件 68042100328 diamond blade 切割刀配件 82089000329 reject pin 顶起针配件 73199000330 magazine/frme 弹匣／芯片承载环配件 73261910331 tweezer, wafe 晶片镊 82032000／73269010332 print cartridge 喷塑匣配件 84719000333 hpc sampler red 25/pk 去离子水细菌测量抽样仪配件 90318090334电学计量校 digital multimeter calibrator 数字多用表校准标准器配件 90319000 准检定设备 parts335 precision oscilloscope cali- 示波器精密校准器配件 90309000 brator parts336 ac/dc voltage and current 交直流电压、电流标准装置配件 90309000 calibrator parts337 resistance standard calibrator 电组标准检定装置配件 85389000 parts 338 multiple channel power calibr- 多功能标准源装置配件 85049090 ator parts339 sgnal generator calibrator parts 信号发生器检定装置配件 90319000340力学计量校 pressure gauge calibrator parts 压力表检定装置配件 90269000 准检定设备341 liquid/gas flow meter cali- 流量计标准装置配件 90269000 brator parts342 velocity meter calibrator parts 转速表检定装置配件 90269000343热工计量校 thermocouple calibrator parts 热电偶检定标准装置配件 90329000 准检定设备344 temperature calibrator parts 温度校准器配件 90329000345 heater furnace calibrator 温度炉标准配件 90329000 parts346 control equipment & spare parts 控制装置配件 84859000347 ltra-violet equipment & 紫外线杀菌灯配件 85399000 spare parts348纯水，排水 与药品供给 化学品供应系统配件 回收系统349 化学品混合机配件 84799090350电气系统 六氟化硫组合电器柜配件 85489000351 10kv真空断路器配件 85489000352 电力数据采集监控系统配件 85489000353 高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断 85389000 电源用高电压开关柜／高电压开关柜配件 354 高电压主变压器/站用干式变压器/不间断电源 85030090/85049019 用干式变压器/不间断电源用旁路变压器配件355 电力电容成套装置配件 85389000356 综合保护装置配件 85389000357 高电压电压监视系统配件 85389000358 ats电源转换装置配件 85049019359 发电机并车装置配件 85030090360 中央监控站设备配件 85389000361 冷冻机组配件 84189999362 高效风车过滤单元配件 84219990363 高效率过滤器配件 84219990364 静电消除装置配件 90329000365 温湿度监控系统配件 85319090366 真空扫除机配件 84219990367气体系统 气体品质监控系统配件 85319090368 气瓶柜输送系统配件 84313900369 气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件 84219990370 气体溅楼漏侦测系统配件 85319090371化学品过滤 及供应系统 控制装置配件 84733090372 管道阀及其配件 84819010373 过滤器滤芯及其配件 84219990374 化学品储存桶槽及其配件 39269010375 化学品成分及浓度测量装置及其配件 90289090376 重量测量装置及其配件 84239000